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                GTW718_真空排氣氣體過濾器_TAIYO太陽鐵工
                    
            
                    
        
                    
        
                    
        
                    
        
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            產品名稱: GTW718_真空排氣氣體過濾器_TAIYO太陽鐵工 
        
                    
        
                    
            產品型號: GTW718
                    
        
                    
            產品廠商: 
            巖瀨商事
        
                    

        
        
        
        
                    
            產品文檔: 無相關文檔
        
                    
        
        
        
        
        
                    
        
                    
            GTW718_真空排氣氣體過濾器_TAIYO太陽鐵工
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	GTW718_真空排氣氣體過濾器_TAIYO太陽鐵工

                    

                    
	GTW718_真空排氣氣體過濾器_TAIYO太陽鐵工

                    

                    
	GTW718_真空排氣氣體過濾器_TAIYO太陽鐵工

                    

                    
	GTW718_真空排氣氣體過濾器_TAIYO太陽鐵工
                    
                    

                    

                    
	
                    

                    

                    
	半導體?液晶製造裝置用真空排気ガスフィルター「マルチコレクター」
                    
半導體製造裝置の真空排気系では、生成物質により配管が短期間で閉塞、マルチコレクターは、長期間の安定操業を可能にしました。
                    
【特長】
                    
マルチコレクタ內で反応生成物を成長促進させます。
                    
捕捉面積の大きなプリーツ狀カートリッジを採用しています。
                    
長期間メンテナンスフリーを実現。
                    
カートリッジは、電著効果 を持たせていますので、サブミクロンの粒子も逃しません。
                    
マルチコレクターの後段の配管のメンテナンスは、長期間不要。
                    
PCVD裝置、エッチング裝置、イオン注入裝置のドライ真空ポンプ前段又は後段に設置し、真空排気系のトラブルを低減します。
                    
冷卻ユニットを設置する事により、生成物を強制析出させ、カラムライフを飛躍的に延ばします。
                    
【主な用途】
                    
PCVD裝置の真空、排気ラインのトラブル防止
                    
エッチング裝置の排気側ラインの配管閉塞防止
                    
液晶製造裝置の排気側ラインの配管閉塞防止
                    
イオン注入裝置、PCVD裝置の真空ポンプの安定稼動
                    
排ガス除害裝置の壽命の安定化
                    
【備考】
                    
テスト機の貸出しできます。詳細はお問い合わせください。
                    
國內免費咨詢專線：4008-933-365

                    

                    
    
                    
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